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MetronLens，超構(gòu)透鏡光學(xué)檢測系統(tǒng)
“光場 + 相位 + 遠(yuǎn)場” / 全面表征 / 簡單易用

MetronLens 超構(gòu)透鏡光學(xué)檢測系統(tǒng) 是一款面向超構(gòu)透鏡、超構(gòu)表面、微透鏡陣列等平面光學(xué)元件的專用光學(xué)檢測系統(tǒng)。該系統(tǒng)綜合了顯微成像技術(shù)、離軸數(shù)字全息技術(shù)以及遠(yuǎn)場成像技術(shù)等多種先進(jìn)技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)光場分布、相位分布和遠(yuǎn)場分布的原位檢測，深刻揭示超構(gòu)表面、超構(gòu)透鏡、微透鏡陣列等平面光學(xué)元件的內(nèi)在物理特性，為驗(yàn)證設(shè)計(jì)的準(zhǔn)確性、制備加工工藝的優(yōu)化提供了強(qiáng)有力的檢測工具。

MetronLens 超構(gòu)透鏡光學(xué)檢測系統(tǒng)

典型應(yīng)用領(lǐng)域：
       超構(gòu)表面(Metasurface)   是一種由亞波長的微納結(jié)構(gòu)組成的平面結(jié)構(gòu)，可以高自由度的對光波進(jìn)行調(diào)控和操縱，因此超構(gòu)表面的研究需要測量它所調(diào)控的光場分布和相位分布。
       微透鏡陣列(Microlens Array，MLA)   是由尺寸只有幾十微米和數(shù)百微米的微型透鏡構(gòu)成的陣列，因此微透鏡陣列的研究需要微米尺度的單透鏡檢測能力。
       衍射光學(xué)元件(Diffractive Optical Elements, DOE)   是基于光的衍射效應(yīng)而設(shè)計(jì)的光學(xué)元件，核心是對光的相位進(jìn)行調(diào)制，需要高分辨率的相位測量。

      MetronLens 超構(gòu)透鏡光學(xué)檢測系統(tǒng) 在以上領(lǐng)域的應(yīng)用得益于如下幾個創(chuàng)新點(diǎn)： 1  毫秒級相位檢測 MetronLens 基于“微型透鏡檢測系統(tǒng)及其檢測方法”發(fā)明專利和離軸外差干涉技術(shù)，在顯微體系下實(shí)現(xiàn)了毫秒級相位分布檢測，相位分辨率可達(dá) 50mrad； 2  高空間分辨率采用優(yōu)異光學(xué)設(shè)計(jì)，結(jié)合大NA（大于 0.75）高倍率的成像系統(tǒng)和高像素數(shù)探測器，確保大視場下空間分辨率可達(dá) 0.6μm； 3  高精度 z軸掃描配有三軸全閉環(huán)超高精度電控位移臺,能夠輕松實(shí)現(xiàn) 0~22mm 行程的光場掃描，z軸掃描定位精度最小可達(dá)到 ±1μm； 4  多波長測試光源系統(tǒng)內(nèi)部最多可集成 457nm、532nm、660nm 三種連續(xù)激光光源，可滿足多樣化的波段測試需求，并支持其他光源外部擴(kuò)展。

      了解更多內(nèi)容： 如何在顯微尺度檢測周期性樣品？如何測量納米結(jié)構(gòu)的角度色散？

復(fù)享超構(gòu)透鏡光學(xué)檢測系統(tǒng)的相關(guān)參考文獻(xiàn)
? "Phase characterisation of metalenses." Light: Science & Applications (2021).
影響因子：20.257，單位：復(fù)旦大學(xué)，通訊作者：石磊, 董建文, 資劍, 蔡定平
? "A Highly Efficient Bifunctional Dielectric Metasurface Enabling Polarization-Tuned Focusing and Deflection for Visible Light." Advanced Optical Materials (2019).
影響因子：10.05，單位：韓國光云大學(xué)，通訊作者：Sang-Shin Lee
? "Experimental demonstration of optical trapping and manipulation with multifunctional metasurface." Optics Letters (2022).
影響因子：3.56，單位：西安光機(jī)所，通訊作者：王國璽, 姚保利
? "Metalenses at visible wavelengths: Diffraction-limited focusing and subwavelength resolution imaging." Science (2016).
影響因子：63.714，單位：哈佛大學(xué)，通訊作者：Federico Capasso
? "Revolutionary meta-imaging: from superlensto metalens." Photon.Insights (2023).
單位：南京大學(xué)，通訊作者：李濤,祝世寧,陳晨
? "A meta-device for intelligent depthperception." Advanced Materials (2023).
影響因子：16.639，單位：香港理工大學(xué)，通訊作者：蔡定平
? "Monocular metasurface camera for passivesingle-shot 4D imaging." Nature Communications (2023).
影響因子：8.799，單位：清華大學(xué)，通訊作者：楊原牧

§ 建議標(biāo)注文字：MetronLens，Optical measurement system of metalenses. ideaoptics. China // Thanks for your support!

技術(shù)參數(shù)

關(guān)鍵技術(shù)

型號

描述

MetronLens

光場檢測 + 遠(yuǎn)場檢測

MetronLens-Phi

相位檢測 + 光場檢測 + 遠(yuǎn)場檢測

MetronLens

項(xiàng)目

值

測量模式：

透射光場分布檢測，透射遠(yuǎn)場分布檢測

可測量光學(xué)參數(shù)：

光場分布、焦距、數(shù)值孔徑、PSF、MTF、相對聚焦效率、成像分辨率、遠(yuǎn)場分布

系統(tǒng)數(shù)值孔徑：

0.75 @ 40X

視野范圍：

Φ0.5mm @ 40X，Φ4mm @ 5X

空間分辨率：

0.45μm @ 40X，2.35μm @ 5X

z軸掃描精度：

±1μm（0~1mm 行程），±3μm（1~22mm 行程）

焦距最大測量范圍：

5mm

標(biāo)配光源：

532nm 光纖連續(xù)激光器

入射平行光發(fā)散角：

0.2°

光源拓展接口：

1個 FC/APC接口

MetronLens-Phi

項(xiàng)目

值

測量模式：

透射相位分布檢測，透射光場分布檢測，透射遠(yuǎn)場分布檢測

可測量光學(xué)參數(shù)：

相位分布、波相差、澤尼克像差、光場分布、焦距、數(shù)值孔徑、PSF、MTF、相對聚焦效率、成像分辨率、遠(yuǎn)場分布

系統(tǒng)數(shù)值孔徑：

0.75 @ 40X

視野范圍：

Φ0.5mm @ 40X

空間分辨率：

0.6μm @ 40X

相位測量分辨率（RMS）：

50mrad

相位測量波相差：

0.05λ

z軸掃描精度：

±1μm（0~1mm 行程），±3μm（1~22mm 行程）

焦距最大測量范圍：

5mm

標(biāo)配光源：

457nm、532nm、660nm 空間光連續(xù)激光器

入射平行光發(fā)散角：

0.1°

光源拓展接口：

1個 FC/APC接口、1個空間光接口

選配模塊

項(xiàng)目

值

偏振擴(kuò)展：

支持實(shí)現(xiàn)入射/接收偏振加載，適配 4mm 厚度偏振片

定制服務(wù)：

支持其他激光波長擴(kuò)展定制

消像差設(shè)計(jì)
采用消除像差光學(xué)設(shè)計(jì)

入射平行光技術(shù)
采用專利的平行光入射模塊，解決了光束發(fā)散的問題，入射平行光發(fā)散角 ≤ 1° 。

面陣背照式技術(shù)
可見波段采用制冷型面陣背照式技術(shù)，大幅提高量子化效率。

相關(guān)案例：

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